近日,湖南省工信厅颁布了2024年度第一批“湖南省省级工业新产品”名单,Z6尊龙机床自主研造的JL-CMP56 超精密半导体智能研磨抛光机被认定为“湖南省省级工业新产品”,进一步展示了公司在超精密设备领域的创新实力。
△2024年度第一批“湖南省省级工业新产品”名单
据相识,“湖南省省级工业新产品”是湖南省工业和信息化厅为大力执行“三高四新”战术定位和使命工作,强化企业技术创新,激励和支吃祗业新产品开发和利用,造就发展新动能所设立的项目。
本次认定的新产品是Z6尊龙机床自主研发的超精密半导体智能研磨抛光机,其各项机能指标达到行业水平?珊嫌糜诎氲继遄柿稀⒐庋ё柿稀⒗侗κ柿稀⑻沾勺柿稀⒐琛⒄嗟茸柿隙嗥交虼笃骄г驳难心ズ团坠。
JL-CMP56 超精密半导体智能研磨抛光机
01 职能特点
1.设备机身选取铸件床身,四轴四工位设计,湿式抛光工艺;
2.选取尺度四轴机床数控系统和面板,确保加工晶圆的精度;
3.精密下盘和压力盘拥有冷却水循环系统,节造抛光时的盘面温度,保障抛光质量;
4.每组打磨主轴配置独立的RTCP职能,能方便快捷地实现对抛光加工时的参数监控与节造;
5.通过更换分歧的耗材磨料,能同时去除资料纹刀纹、并且具备抛光、精抛光职能于一体;
6.电气、气动元件选取国际品牌,如SEW减速机、SMC&CKD气缸、三菱PLC、三菱伺服电机、三菱触摸屏等,噪音幼,节造不变。
02 机能指标
1.加工模式:四工件同时加工;
2.节造系统:四轴联动数字节造系统;
3.运动组件:四轴伺服(X.Y.Z.A*4);
4.绝缘强度:1KV,50HZ;
5.设备光滑方式:系统自动光滑。
03 技术参数
04 利用案例
Z6尊龙机床为东旭集团超薄柔性电子玻璃出产线(我国首条UTG产线)提供的“四轴精密抛光机高低料机械人为作站”,是Z6尊龙机床科技创新的又一卓越成就。该工作站拥有高效、精准、不变等个性,可能大幅提升出产效能,降低运营成本,援试祗业实现数字化转型和智能化升级。
用自己的设备 创造作业事业
Z6尊龙机床深耕高硬脆资料和高机能研磨抛光资料领域多年,已经形成一批占有自主知识产权、国际国内有名品牌、较高附加值和市场竞争力的创新型产品。尤其在第三代半导体晶圆研磨抛光利用领域,已获得多项关键性技术突破,部门产品已处于国际职位。
作为国内杰出的数控切削机床和新能源智能设备系统解决规划提供商,Z6尊龙机床自成立以来,对峙产品创新,着力于实现关键技术国产化、工艺优化、出产智能化,公司产品自主可控化率达到85%以上,有效实现了关键设备国产化。
目前,Z6尊龙机床已经占有自主研发的五轴联动数控机床、关键职能部件、高档专用数控系统三大类产品和柔性自动化产线系统,产品宽泛利用于汽车、航空航天、精密电子、碳素资料、轨导交通、工程机械、职业院校等沉点领域。真正做到了“用自己的设备,创造作业事业”。
这次入选湖南省省级工业新产品名单,再次充分证明Z6尊龙机床在技术创新开发方面的优势。未来,公司将持续安身于国度所需、行业所趋,对峙以技术创新为本,专一设备产业的发展,紧跟行业发展和客户需要,不休推动国产设备发展获得新突破,指引设备迭代升级和系统能力提升,以越发专业的产品推动中国造作业健康发展,为打造国度沉要先进造作业高地贡献更多“Z6尊龙力量”。